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    機械設備.jpg

    智能閥門&閥門彈簧開啟壓力解決方案


    設備工作流程說明 

    放置產品 → 正壓檢測 → (合格) →負壓檢測 → 顯示結果/報警 

    雙工位、雙工位互不干擾、可獨立/同時測試 

    (對于單個工位)正負壓雙通道、雙通道氣密性互不影響 

    擁有數字和曲線顯示兩種方式??梢栽O定合格判定范圍 

    I/O交互和232通訊 

    控制管路使用銅管 

    流量控制需要恒流量自動控制 

    設備關鍵參數 

    技術規格書參數 

    有效分辨率≤1pa 

    壓力控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):- 80 Kpa ~ +500Kpa 

    流量控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):±0~±200sccm 

    精度 0.1%F.S. 

    分辨率 1pa 

    動態恒流量控制(數控氣壓、逐步提高壓力) 

    在相對濕度≤85%RH的環境下正常工作 

    在溫度—5°C~45°C的環境下正常工作 

    樣品測試標準 

    AP31 

    正壓恒流 10L/h 166.6sccm 開啟壓力140kpa~160kpa G 

    負壓恒流3L/h 50sccm 開啟壓力0~-10kpa 

    流量:檢測、控制、流量和壓力的關系 

    EX21 

    正壓恒流 10L/h 開啟壓力30~40kpa 

    負壓恒流 3L/h 開啟壓力0~-10Kpa 

    G A D 101.3Kpa A 0kpaG 

    0kpaA -100kpaG 

    D針對于傳感器 2接頭 返回壓力差 ±G 

    設備工作參數 

    該樣品實際測試需要的參數(最低標準) 

    有效分辨率≤1pa 

    壓力控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):- 50 Kpa ~ +200Kpa 

    流量控制范圍(包括調節范圍和檢測范圍):±0~±200sccm 

    分辨率 1pa 

    動態恒流量控制 

    測試原理講解 方案一 

    一個傳感器用于檢測氣壓變化過程 

    爆裂點是一個極點

    記錄氣壓的壓力降/突變

    記錄后進行比較 

    測試原理講解 方案二 

    一個傳感器檢測氣壓的變化過程

    一個傳感器用于檢測變化點(時間/觸發條件) 

    記錄氣壓曲線(二維數組/隊列/單向表)

    確認開啟后再進行分析

    設計測試 

    1.壓流關系 

    氣源壓力 160Kpa 4mm 流量? 

    2.檢測流量 

    流量傳感器(最大耐壓180kpa) 

    壓力差算流量 

    3.控制流量 

    流量變送器、比例閥(DA\PID)恒流量 

    逐步提升壓力(壓差)控制流量 -> 精密/高速DA輸出 

    傳感器選型 

    壓力傳感器 

    一個負壓MPX4250 

    一個正壓精度(200~300kpa以下)MS4525 

    一個正壓量程 MS4525SS5A100G/AP 

    一個精度(-80~250KpaG)NXP/TE 

    一個正壓量程(0~600kapG/A) 

    流量傳感器(暫時不考慮) 


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